Полировальные суспензии «ЛЭЙКСИЛ®» PS

«ЛЭЙКСИЛ®» PS –  коллоидная двуокись кремния.

Характеризуется как монодисперсная система с высокой концентрацией по SiO2. Размер мицелл в широком диапазоне с длительным сроком хранения.

Гранулометрический анализ полировальной суспензии «Лэйксил®» PS на сканирующем электронном микроскопе AURIGA CrossBeam.
  • Особенности

Высокая скорость съема полируемого материала, отсутствие дефектов в виде царапин и вытравлений на полируемых поверхностях, стабильность рН в течении всего цикла полирования, оптимальная селективность в технологиях XMП

  • Область применения

Суспензии линейки «ЛЭЙКСИЛ®» PS разработаны специально для полирования металлических, керамических Пластин, электронных и оптоэлектронных устройств (Si, Cu, W, Tan/Ta, SiO2), синтетических сапфиров, других полировальных технологий.

  • Основные физико-химические показатели *
Наименование показателя«ЛЭЙКСИЛ®» PSТУ 20.13.62-013-60801487-2017 
рН при +20°С2,1-11,2
Содержание твердого вещества SiO2, % масс.2,5-41
Вязкость при +20°С2,1-3,0
Диаметр частиц, нМ50-120
Удельная плотность, г/см31,025-1,31

*Данные параметры являются базовыми. При необходимости возможна корректировка свойств продукта с учетом запросов потребителя.