«ЛЭЙКСИЛ®» PS – коллоидная двуокись кремния.
Характеризуется как монодисперсная система с высокой концентрацией по SiO2. Размер мицелл в широком диапазоне с длительным сроком хранения.
- Особенности
Высокая скорость съема полируемого материала, отсутствие дефектов в виде царапин и вытравлений на полируемых поверхностях, стабильность рН в течении всего цикла полирования, оптимальная селективность в технологиях XMП
- Область применения
Суспензии линейки «ЛЭЙКСИЛ®» PS разработаны специально для полирования металлических, керамических Пластин, электронных и оптоэлектронных устройств (Si, Cu, W, Ta/TaN, SiO2), синтетических сапфиров, других полировальных технологий.
- Основные физико-химические показатели согласно техническим условиям ТУ 20.13.62-013-61801487-2017 *
| Наименование показателя | «ЛЭЙКСИЛ®» PS 40/75 | «ЛЭЙКСИЛ®» PS 2001 | «ЛЭЙКСИЛ®» PS 2002 | «ЛЭЙКСИЛ®» PS 2003 |
| рН, ед.рН | 10,0 — 10,5 | 10,6 — 11,5 | 2,10 — 2,35 | 9,5 — 10,5 |
| Массовая доля SiO2, % масс. | 39 — 41 | 28,5 — 30,5 | 3,7 — 3,9 | 29 — 30,25 |
| Кинематическая вязкость, сСт | 1,9 — 3,5 | 1,3 — 2,5 | 1,07 — 1,14 | 1,3 — 2,0 |
| Диаметр частиц, нм | 80 — 120 | 60 — 90 | 100 — 140 | 60 — 90 |
| Радиус частиц, нм | 52 — 54 | 39,5 — 41 | 59 — 61 | 39,5 — 41 |
| Тип стабилизирующего иона | Натрий | Калий | — | Ион аммония |
| Удельная плотность, г/см3 | 1,290 — 1,310 | 1,196 — 1,215 | 1,025 — 1,027 | 1,200 — 1,210 |
*Данные параметры являются базовыми. При необходимости возможна корректировка свойств продукта с учетом запросов потребителя.
